1.真空滅弧室真空度失常
真空斷路器運行時，正常情況下，其滅弧室的屏蔽罩顏色應無異常變化，真空度正常。若運行中或合閘之前(一端帶電壓)真空滅弧室出現紅色或乳白色輝光，說明真空度下降，影響滅弧性能，應更換滅弧室。
2.真空斷路器運行中斷相
真空斷路器接通高壓電動機時，有時會出現斷相，使電動機缺相運行而燒壞電動機。真空斷路器出現合閘斷相的可能原因是：
(1)斷路器超行程(觸頭彈簧被壓縮的數值)不滿足要求，影響該相觸頭的正常接觸。這可通過調節絕緣拉桿的長度，并重復測量多次，才能保證其超行程的正確性和接觸的穩定性。
(2)斷路器行程不滿足要求。在保證超行程的前提下，通過調節分閘定位件的墊片，使三相行程均滿足要求，并三相同步。
(3)由于真空斷路器的觸頭為對接式，觸頭材料較軟，在分、合閘數百次后觸頭易變形，使斷路器超行程變化，影響觸頭的正常接觸。
3.真空斷路器合閘失靈
合閘失靈的原因是：
(1)電氣方面的故障。電氣方面的故障主要有：合閘電壓過低(操作電壓低于O.85額定電壓)或合閘電源整流部分故障;合閘電源容量不夠;合閘線圈斷線或合閘線圈匝間短路}二次接線接錯等。
(2)操動機構故障。操動機構的故障主要有：合閘過程中分閘鎖扣未扣住，分閘鎖扣的尺寸不對;輔助開關的行程調得過大，使觸片變形彎曲，接觸不良。
處理完上述缺陷后再合閘。
4.真空斷路器分閘失靈
分閘失靈的原因主要是：
(1)電氣方面的故障。主要故障有：分閘電壓過低(操作電壓低于0.85額定電壓);分閘線圈斷線;輔助開關接觸不良。
(2)操動機構故障。主要故障有：分閘鐵芯的行程調整不當;分閘鎖扣扣住過量;分閘鎖扣銷子脫落。
上述缺陷應逐一檢查消除。